Non-contact micromanipulation using an ultrasonic standing wave field

被引：11

作者：

Kozuka, T ^{[1
]}

Tuziuti, T ^{[1
]}

Mitome, H ^{[1
]}

Fukuda, T ^{[1
]}

机构：

[1] MINIST INT TRADE & IND,AGCY IND SCI & TECHNOL,NATL IND RES INST NAGOYA,KITA KU,NAGOYA,AICHI 462,JAPAN

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.494021

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

页码：435 / 440

页数：6