Micromachined tunable Fabry-Perot filters for wavelength division multiplexing

被引：3

作者：

Larson, MC ^{[1
]}

Harris, JS ^{[1
]}

机构：

[1] STANFORD UNIV,SOLID STATE ELECTR LAB,STANFORD,CA 94305

来源：

WAVELENGTH DIVISION MULTIPLEXING COMPONENTS | 1996年 / 2690卷

关键词：

micromachining; micro-electromechanical systems (MEMS); micro-optics; deformable membranes; wavelength tuning; vertical cavities; Fabry-Perot filters; tunable filters; tunable lasers; vertical-cavity surface-emitting lasers (VCSEL);

D O I：

10.1117/12.238912

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

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页数：12