Single- and multi-layer electroplated microaccelerometers

被引：10

作者：

Konaka, Y ^{[1
]}

Allen, MG ^{[1
]}

机构：

[1] MURATA MFG CO LTD,YOKOHAMA RES & DEV CTR,MIDORI KU,YOKOHAMA,KANAGAWA 226,JAPAN

来源：

NINTH ANNUAL INTERNATIONAL WORKSHOP ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, IEEE PROCEEDINGS: AN INVESTIGATION OF MICRO STRUCTURES, SENSORS, ACTUATORS, MACHINES AND SYSTEMS | 1996年

关键词：

D O I：

10.1109/MEMSYS.1996.493848

中图分类号：

TP [自动化技术、计算机技术];

学科分类号：

0812 ;

摘要：

引用

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页数：6