Gas-phase lubrication of silicon nano-asperity contacts

被引：0

作者：

Asay, David B.

Kim, Seong H.

机构：

[1] Penn State Univ, Dept Chem Engn, Fenske Lab 121, University Pk, PA 16802 USA

[2] Penn State Univ, Dept Chem Engn, University Pk, PA 16802 USA

来源：

ABSTRACTS OF PAPERS OF THE AMERICAN CHEMICAL SOCIETY | 2006年 / 231卷

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

O6 [化学];

学科分类号：

0703 ;

摘要：

530-COLL

引用

页数：1