Design and optimization of batch-fabricated rotative piezomotors

被引：0

作者：

LeMoal, P ^{[1
]}

Minotti, P ^{[1
]}

Ferreira, A ^{[1
]}

Cusin, P ^{[1
]}

机构：

[1] INST MICROTECH FRANCHE COMTE,LAB MECAN APPL R CHALEAT,F-25030 BESANCON,FRANCE

来源：

SMART STRUCTURES AND INTEGRATED SYSTEMS: SMART STRUCTURES AND MATERIALS 1996 | 1996年 / 2717卷

关键词：

piezoelectric micromotors; modeling; contact mechanism; batch-fabrication; CAD tool;

D O I：

10.1117/12.239059

中图分类号：

O42 [声学];

学科分类号：

070206 ; 082403 ;

摘要：

引用

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页数：3