Deflection behavior of Fabry-Perot pressure sensors having planar and corrugated membrane

被引：12

作者：

Han, JH ^{[1
]}

Neikirk, DP ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV TEXAS,CTR MICROELECT RES,AUSTIN,TX

来源：

MICROMACHINED DEVICES AND COMPONENTS II | 1996年 / 2882卷

关键词：

Fabry-Perot microcavity; micromachined pressure sensor; corrugated diaphragm;

D O I：

10.1117/12.250725

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

引用

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