Preface-JS']JSS Focus Issue on CMP for Sub-10 nm Technologies

被引：5

作者：

Philipossian, Ara ^{[1
]}

Park, Jin-Goo ^{[2
]}

机构：

[1] Univ Arizona, Dept Chem & Environm Engn, Tucson, AZ 85721 USA

[2] Hanyang Univ, Dept Mat Sci & Chem Engn, Ansan 15588, Gyeonggi Do, South Korea

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/2.0301905jss

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：Y1 / Y1

页数：1