Design of a multichannel illumination optical system

被引：0

作者：

Ryzhikov, Lev

机构：

来源：

LASER FOCUS WORLD | 2023年 / 59卷 / 06期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

O43 [光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

This article provides a look at how the use of a "fly-eyes" relay optical system could help solve difficult semiconductor applications.

引用

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