Thin-Film Silicon MEMS for Dynamic Mass Sensing in Vacuum and Air: Phase Noise, Allan Deviation, Mass Sensitivity and Limits of Detection (vol 28, pg 390, 2019)

被引：0

作者：

Pinto, Rui M. R. ^{[1
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Brito, Pedro ^{[1
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Chu, Virginia ^{[1
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Conde, Joao Pedro ^{[1
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]}

机构：

[1] Inst Engn Sistemas & Comp Microsistemas & Nanotecn, P-1000029 Lisbon, Portugal

[2] Int Iberian Nanotechnol Lab INL, P-4715330 Braga, Portugal

[3] SISCOG, P-1700097 Lisbon, Portugal

[4] Inst Super Tecn, Dept Bioengn, P-1049001 Lisbon, Portugal

来源：

关键词：

1; f noise; Sensitivity; Micromechanical devices; Sensors; Root mean square; Phase noise; Microelectromechanical systems;

D O I：

10.1109/JMEMS.2024.3375930

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

[No abstract available]

引用

页码：403 / 404

页数：2