常压等离子体渗氮工艺的研究

被引:5
作者
秦艳
严立
朱新河
史雅琴
许久军
高玉周
杨毅
机构
[1] 大连海事大学金属材料工艺所
[2] 大连海事大学金属材料工艺所 辽宁大连
[3] 辽宁大连
基金
高等学校博士学科点专项科研基金;
关键词
电介质阻挡放电; 等离子体渗氮;
D O I
10.13251/j.issn.0254-6051.2002.01.006
中图分类号
TG156.8 [化学热处理];
学科分类号
080201 ; 080503 ;
摘要
利用介质阻挡放电原理 ,在自行研制的设备上进行了常压非平衡等离子体渗氮。研究表明 ,在等离子环境中 ,试样表面能迅速获得很深的渗层和白亮层 ,而电场外试样几乎无渗层。说明电场内气体电离率高 ,活性粒子浓度高。整个工艺过程操作简便 ,是一种很有发展前景的新工艺。
引用
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共 1 条
[1]   GENERATION OF EXCIMER EMISSION IN DIELECTRIC BARRIER DISCHARGES [J].
GELLERT, B ;
KOGELSCHATZ, U .
APPLIED PHYSICS B-PHOTOPHYSICS AND LASER CHEMISTRY, 1991, 52 (01) :14-21