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氮化铁梯度薄膜的制备
被引：3
作者：
姜恩永，刘晖，刘明升，林川，孙多春
机构：
[1] 天津大学，清华大学
来源：
关键词：
对向靶溅射，氮化铁薄膜，梯度薄膜，卢瑟福背散射;
D O I：
暂无
中图分类号：
TB43 [薄膜技术];
学科分类号：
0805 ;
摘要：
用对向靶溅射仪制备了具有梯度结构的氮化铁薄膜材料．卢瑟福背散射分析结果表明，铁、氮两种原子的密度沿膜厚度方向呈梯度变化．在薄膜中有ζ－Ｆｅ２Ｎ，ε－ＦｅｘＮ（２＜ｘ＜３），γ′－Ｆｅ４Ｎ和α″－Ｆｅ１６Ｎ２等物相．振动样品磁强计测试结果表明部分梯度膜的饱和磁化强度值接近纯铁膜，膜面富铁的梯度样品的矫顽力与基底富铁的梯度样品的矫顽力相差很大。
引用
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