TiO2/Ag/TiO2纳米多层膜的研究

被引：8

作者：

李景明

蔡珣

茅及放

机构：

[1] 上海交通大学教育部高温材料及高温测试重点实验室

来源：

机械工程材料 | 2004年 / 02期

关键词：

透明电极; 纳米多层膜; 光学性能; 导电性能;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB383 [特种结构材料];

学科分类号：

070205 ; 080501 ; 1406 ;

摘要：

设计和制备了用于平面显示器透明电极的纳米多层薄膜TiO2/Ag/TiO2,它的明视透光率Tlum约为89.3%,在2500nm波长处的反射率R2500>95%,方块电阻为3.0Ω/cm2,在550nm波长处的电气性能评价指标FTC=137×10-3Ω-1。发现顶层介质折射率的变化将会引起膜系透射峰的水平移动,而底层介质折射率的变化将仅仅影响膜系透射峰的高低。

引用

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