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Poly-Si TFT制备工艺
被引：4
作者：
刘晓彦
孙卫
关旭东
翟霞云
韩汝琦
机构：
[1] 北京大学微电子所!
来源：
关键词：
有源矩阵液晶显示;
多晶硅;
薄膜晶体管;
制备工艺;
D O I：
10.19453/j.cnki.1005-488x.1997.01.002
中图分类号：
TN32 [半导体三极管（晶体管）];
学科分类号：
摘要：
在有源矩阵液晶显示中，目前倍受重视的应数多晶硅有源矩阵液晶显示技术。本文较详细地给出了高温多晶硅薄膜晶体管的制备工艺及其特性，并分析讨论了制备条件对多晶硅薄膜晶体管各种参数的影响。
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