测试技术的社会作用及发展方向

被引:11
作者
张国雄
裘祖荣
机构
[1] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
[2] 天津大学
关键词
测试技术; 仪器仪表; 扫描隧道显微镜; 纳米科技; MEMS; 激光干涉仪; 光学干涉仪; 微机电系统;
D O I
10.16567/j.cnki.1000-7008.2004.09.002
中图分类号
TB22 [工程测量];
学科分类号
0814 ; 0816 ; 081601 ;
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