同时测量物体五维几何偏差的新方法

被引：5

作者：

周富强

孙长库

王春和

叶声华

机构：

[1] 天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室!天津,天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室!天津,天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室!天津,天津大学精密测试技术与仪器国家重点实验室!天津

来源：

关键词：

五维几何偏差; 磁光调制及补偿; 漂移补偿;

D O I：

暂无

中图分类号：

TG806 [技术测量方法];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

详细分析了基于激光全息技术、激光准直技术、激光光束漂移补偿技术和磁光调制补偿技术的综合运用，以单一激光束为基准，同时测量物体五维偏差的基本原理。通过标定和实验测量，在激光光源距测量靶标１ｍ时，该测量系统σ精度为：线位移＜２ μｍ，角位移＜４″。

引用

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