溅射Co-Cr-Al-Y涂层的结构

被引：1

作者：

楼翰一

王福会

嵇立润

张立新

不详

机构：

[1] 中国科学院金属腐蚀与防护研究所

[2] 中国科学院金属腐蚀与防护研究所

[3] 中国科学院金属腐蚀与防护研究所副研究员

[4] 沈阳()

来源：

金属学报 | 1989年 / 06期

关键词：

磁控溅射; Co-Cr-Al-Y涂层;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

研究了平面磁控溅射Co-30Cr-6Al-0.5Y涂层的结晶组织及溅射参数对它的影响。结果表明,溅射层由hcp ε-Co或fcc α-Co钴固溶体与极少量βCoAl相组成。ε-Co在〈100〉,fcc α-Co在〈110〉方向有择优取向,晶体类型和择优取向程度与溅射条件有关。溅射时样品在靶前固定,则溅射层晶粒细,结构致密,表面光洁度好;样品在靶前旋转,则结果相反。

引用

页码：96 / 101

页数：6