稻壳SiC晶须生长工艺和机理研究

被引:3
作者
韩敏芳,李伯涛,郭梦熊
机构
[1] 中国矿业大学北京研究生部
关键词
SiC晶须,生长工艺,VLS生长机理,VS机理,CVD机理;
D O I
暂无
中图分类号
O743.3 [];
学科分类号
0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;
摘要
在以稻壳为原料,氧化物类作催化剂反应生成SiC晶须的过程中,催化剂的主要作用是形成液相,晶须生长方式以VLS为主,同时料内有少量VS方式生长的晶须,料表面有少量CVD方式生长的晶须。
引用
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