扫频光源OCT对单晶硅片制绒质量的检测

被引：3

作者：

于海民 ^{[1
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牛源 ^{[1
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刘桂林 ^{[1
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孟卓 ^{[2
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姚晓天 ^{[1
,2
,4
]}

李果华 ^{[1
]}

机构：

[1] 江南大学理学院

[2] 天津大学精密仪器与光电工程学院

[3] 苏州光环科技有限公司

[4] General Photonics Corporation, Edison Avenue,Chino California ,USA

来源：

激光与光电子学进展 | 2013年 / 50卷 / 02期

关键词：

医用光学; 扫频光源OCT; 单晶制绒; 后向散射; 轴向信号;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP274 [数据处理、数据处理系统];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 080402 ; 081002 ; 0835 ;

摘要：

光学相干层析(OCT)是一种新型的光学信号获取与处理方式,它可以对光学散射介质进行扫描,获得的三维图像,分辨率可以达到微米级。尝试利用扫频光源OCT对在相同的制绒溶液配比下,不同制绒时间的单晶硅片进行检测,通过处理三维图像数据,判断制绒质量,为单晶硅制绒检测提供一种新方法。

引用

页码：178 / 181

页数：4

共 10 条

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