Precision laser trimming of polysilicon resistors without heat affected zone

被引：0

作者：

HUANG WeilingInstitute of Laser Technology Huazhong university of science and technology WUhan China ^{[430074
]}

机构：

来源：

关键词：

polusilicon resister; laser trimming;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN24 [激光技术、微波激射技术];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

ＰｒｅｃｉｓｉｏｎｌａｓｅｒｔｒｉｍｍｉｎｇｏｆｐｏｌｙｓｉｌｉｃｏｎｒｅｓｉｓｔｏｒｓｗｉｔｈｏｕｔｈｅａｔａｆｆｅｃｔｅｄｚｏｎｅＨＵＡＮＧＷｅｉｌｉｎｇ（ＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＬａｓｅｒＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｈｕａｚｈｏｎｇｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ...

引用

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