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多层Si/TiSi2—Al和Si/TiSi2（TiN）—W—Al系合金热稳定性的研究
被引：0
|作者：
谭家骏
机构：
[1] 北京工业大学北京
来源：
关键词：
热稳定性;
多层系;
Ta;
膜系;
热力学性质;
Al;
Si/TiSi2;
TiN;
D O I：
10.19382/j.cnki.1673-4971.1995.04.005
中图分类号：
TG13 [合金学与各种性质合金];
学科分类号：
摘要：
在这篇文章中报导了多层Si/TiSi2—Al和Si/TiSi2（TiN）—W—Al系的研究情况。在研究过程中应用了透射电子显微镜（TEM）,X射线微量分析和卢瑟夫反向散射波谱学测定法（RBS）来测定多层膜系的形成条件和分析膜系层的成分,相互扩散情况以及交界面上的结构,从而,揭示形成最大热稳定性多层系的条件。
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