环境扫描电子显微镜工作原理及实现

被引：11

作者：

干蜀毅

陈长琦

朱武

王先路

机构：

[1] 合肥工业大学机械与汽车工程学院

[2] 合肥工业大学机械与汽车工程学院安徽合肥

[3] 安徽合肥

来源：

真空电子技术 | 2003年 / 06期

关键词：

环境扫描电子显微镜(ESEM); 多重狭缝; 成像信号; 二次电子; ET探头; 环境二次电子探头; 气体二次电子探头;

D O I：

10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2003.06.008

中图分类号：

TN16 [电子光学仪器];

学科分类号：

0803 ; 080401 ;

摘要：

系统介绍了环境扫描电子显微镜(ESEM)的研制历程和采用的关键技术。从常规扫描电子显微镜(SEM)的基本工作原理出发,列出了SEM成像信号产生的方式及特点。针对SEM在实际应用中暴露出的缺陷,ESEM提出了解决问题的措施。多重狭缝的采用,使样品室内压强可以大幅提高;而气体二次电子探头(GSED)的发明,使作为成像信号的二次电子信号得到加强。

引用

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