Cu2O/C60梯度薄膜的制备

被引:6
作者
张继成
唐永建
吴卫东
黄勇
机构
[1] 中国工程物理研究院激光聚变研究中心!四川绵阳
关键词
梯度薄膜; Cu2O/C60混合膜; ICF; 功能材料; 梯度靶;
D O I
暂无
中图分类号
O484 [薄膜物理学];
学科分类号
080501 ; 1406 ;
摘要
功能梯度材料应用前景广阔 ,特别在 ICF研究中 ,梯度靶是一种重要的基础 -基准靶。以Cu2 O和 C60 为原料 ,用真空蒸镀法在石英基底上制备了 Cu2 O/C60 梯度薄膜 ,并用 XPS,AFM,紫外光谱仪对其成份分布、表面形貌、紫外吸收谱进行了测试。测量结果表明 ,薄膜的组成沿厚度方向呈连续梯度变化 ,符合梯度功能材料的变化规律
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