毫米波RF-MEMS单片集成0/π移相器

被引：3

作者：

戴永胜 ^{[1
]}

张宇峰 ^{[1
]}

李宝山 ^{[1
]}

朱健 ^{[2
]}

郁元卫 ^{[2
]}

机构：

[1] 南京理工大学

[2] 南京电子器件研究所

来源：

微波学报 | 2009年 / 25卷 / 05期

关键词：

毫米波; 射频微电子机械系统; 单片集成; 移相器;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN623 [移相器、铁氧体移相器];

学科分类号：

摘要：

介绍了一种毫米波RF-MEMS单片集成反射型0/π移相器的设计、制造和测试。实测性能与设计结果吻合较好,达到的电性能指标为:在35GHz-38GHz频率范围内,电压驻波比小于1.8,参考态插入损耗为3.5±1.0dB,相移态插入损耗为2.0±0.6dB,相移为180°±6°。芯片尺寸:2.6mm×2.1mm×0.2mm。满足了插损低并具有电路拓扑的要求。

引用

页码：70 / 74

页数：5

共 6 条

[1] 毫米波悬臂梁串联反射型接触式RF-MEMS开关的研究
戴永胜
方大纲
张宇峰
祁高品
朱健
郁原卫
[J]. 微波学报, 2008, (03) : 74 - 77
[2] 宽带RF-MEMS开关驱动电压的分析研究
孙建海
崔大付
苏波
王海宁
[J]. 微纳电子技术, 2004, (09) : 37 - 40+48
[3] 电容式MEMS开关中弹性膜应力对驱动电压的影响
李炜
石艳玲
忻佩胜
朱自强
赖宗声
[J]. 固体电子学研究与进展, 2003, (04) : 514 - 519
[4] 双膜桥微波MEMS开关
朱健
郁元卫
陆乐
贾世星
张龙
[J]. 微纳电子技术, 2003, (Z1) : 382 - 384
[5] MEMS移相器及其在微型通信系统中的应用
卿健
石艳玲
赖宗声
朱自强
[J]. 微电子学, 2002, (04) : 241 - 244
[6] 微波器件与电路[M]. 江苏科学技术出版社 , 王蕴仪等编, 1981

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