Si/Si1-xGex异质结器件

被引:0
作者
罗浩平
蔡金华
机构
[1] 华晶公司中央研究所
[2] 华晶公司中央研究所 前所分所
[3] 江苏无锡
[4] 前所分所
关键词
HBT; Si1-xGex; 高频;
D O I
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学科分类号
摘要
本文综述了国外Si/Si1-xGexHBT的发展状况,把出Si1-xGexHBT的特点和优越性,分析了Si1-xGexHBT的制造技术和设备要求,指出了Si/Si1-xGex器件的应用前景。
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