氮化铝陶瓷材料

被引：1
作者：
黄岸兵
崔嵩
机构：
[1] 合肥信息产业部所!合肥，
来源：
微电子技术 | 1999年 / 02期
关键词：
AIN; 生产技术; 陶瓷封装;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN405 [制造工艺];
学科分类号：
080903 ; 1401 ;
摘要：
本文介绍了AIN陶瓷基片生产的关键技术，国内外AIN陶瓷封装概况。探讨了AIN陶瓷封装发展的趋势。
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页数：8
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