负偏压射频放电过程的流体力学模拟

被引：3

作者：

朱武飚

王友年

邓新禄

马腾才

机构：

[1] 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室

[2] 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室大连

[3] 大连

来源：

关键词：

负偏压; 离子; 射频放电; 离子流密度; 空间分布; 物理过程; 动量平衡方程; 鞘层; 均匀等离子体; 电子平均能量; 电场; 电磁场; 流体力学;

D O I：

暂无

中图分类号：

O462 [阴极电子学];

学科分类号：

0809 ; 080901 ;

摘要：

采用流体力学方法研究了负偏压射频放电的物理过程,计算了带电粒子密度及电场的时空分布,分析了在不同的近似条件下,离子动量平衡方程中各项的贡献。

引用

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页数：8