入射角对激光散斑测量表面粗糙度的影响

被引：3

作者：

赵学增

周莉莉

王伟杰

吴羡

代礼周

机构：

[1] 哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨工业大学机电工程学院,哈尔滨工业大学机电工程学院

来源：

关键词：

入射角; 表面粗糙度; 激光散斑; 对比度;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH741 [光学计量仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

观察了当相干激光以不同入射角照射 4个等级的平磨和外圆磨样块时记录的散斑图像中散斑强度的变化。通过分析可知对比度与表面粗糙度之间存在密切的关系 ,入射角又直接影响对比度 ,不同的入射角适合不同的加工方法和测量范围。因此找到合适的入射角可提高实验系统的精度和分辨率

引用

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