含氟芳杂环高分子及其在微电子工业中的研究进展

被引:8
作者
刘金刚
杨海霞
王丽芳
李彦峰
范琳
杨士勇
机构
[1] 中国科学院化学研究所
[2] 工程塑料国家重点实验室
[3] 分子科学中心
[4] 兰州大学
[5] 兰州大学化学化工学院
[6] 分子科学中心 北京
[7] 兰州
[8] 北京
关键词
芳杂环高分子; 三氟甲基; 单体; 微电子;
D O I
10.14028/j.cnki.1003-3726.2003.05.003
中图分类号
O633 [杂链聚合物];
学科分类号
070305 ; 080501 ; 081704 ;
摘要
综述了近年来国内外在含氟芳杂环高分子方面的研究及应用进展情况。主要介绍了含氟聚苯并咪唑 (PBI)、聚苯并唑 (PBO)、聚芳醚 (PAE)及其衍生物等材料。从含氟单体的合成、聚合物的合成及其应用等几个方面进行了阐述
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