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9Cr18轴承钢的金属离子加氮离子复合注入处理新工艺
被引:14
作者
:
汤宝寅
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机构:
哈尔滨工业大学现代焊接实验室
汤宝寅
王松雁
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机构:
哈尔滨工业大学现代焊接实验室
王松雁
王晓峰
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机构:
哈尔滨工业大学现代焊接实验室
王晓峰
甘孔银
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机构:
哈尔滨工业大学现代焊接实验室
甘孔银
曾照明
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机构:
哈尔滨工业大学现代焊接实验室
曾照明
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机构:
田修波
Paul K.Chu
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机构:
哈尔滨工业大学现代焊接实验室
Paul K.Chu
机构
:
[1]
哈尔滨工业大学现代焊接实验室
[2]
香港城市大学物理及材料科学系
来源
:
中国表面工程
|
2000年
/ 04期
关键词
:
金属等离子体浸没离子注入与沉积;
脉冲阴极弧金属等离子体源;
离子注入;
表面改性;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TG15 [热处理];
学科分类号
:
080201 ;
080503 ;
摘要
:
简单地叙述了金属等离子体浸没离子注入与沉积(MePIIID)表面处理新工艺的发展,以及MePIIID工艺对于脉冲阴极弧金属等离子体源的要求。详细报导了9Cr18轴承钢样品的氮离子注入表面处理工艺以及金属离子加氮离子复合注入处理新工艺。对被处理和未被处理试样进行了显微硬度、磨痕、摩擦因数及腐蚀特性测试后表明:用金属离子加氮离子复合注入处理的9Cr18钢试样的表面特性改善明显优于只用氮离子处理的试样,证明脉冲阴极弧金属等离子体源和气体等离子体浸没离子注入相结合是现代材料表面强化的一个很有效的手段。
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用于材料表面改性的多功能等离子体浸没离子注入装置
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机构:
哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室
孙剑飞
;
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物理,
1997,
(06)
:44
-48
[2]
等离子体源离子注入(I)──原理和技术
[J].
汤宝寅
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哈尔滨工业大学
汤宝寅
.
物理,
1994,
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:41
-45
[3]
Principles and Characteristics of a New Generation Plasma Immersion Ion Implantation Rev .2 Chu P K,Tang B Y,Cheng Y C,et al. Sc. Instrum . 1997
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共 3 条
[1]
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曾旭初
.
物理,
1997,
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:44
-48
[2]
等离子体源离子注入(I)──原理和技术
[J].
汤宝寅
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哈尔滨工业大学
汤宝寅
.
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