硅基外延La-Sr-Co-O/Pb-Zr-Ti-O/La-Sr-Co-O异质结的制备

被引：0

作者：

刘保亭 ^{[1
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李锋 ^{[1
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闫正 ^{[1
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赵庆勋 ^{[1
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张未涛 ^{[1
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程春生 ^{[1
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乔晓东 ^{[1
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孙宏丽 ^{[2
]}

机构：

[1] 河北大学物理科学与技术学院

[2] 河北大学药学院

来源：

真空科学与技术学报 | 2006年 / 02期

关键词：

LSCO/PZT/LSCO; 溶胶-凝胶法; 异质结; 低温生长;

D O I：

10.13922/j.cnki.cjovst.2006.02.001

中图分类号：

O484.1 [薄膜的生长、结构和外延];

学科分类号：

摘要：

在外延SrTiO3(STO)作为缓冲层的Si基片上,应用溶胶-凝胶法(sol-gel)和磁控溅射法,在550℃温度下制备了外延的La0.5Sr0.5CoO3/Pb(Zr0.2Ti0.8)O3/La0.5Sr0.5CoO3(LSCO/PZT/LSCO)异质结。X射线衍射结果表明,LSCO/PZT/LSCO异质结是c向外延生长的。当外加电压为60 V时,LSCO/PZT/LSCO铁电电容器的剩余极化强度为50.3μC/cm2,当电压为30 V时,铁电电容器有效极化强度为80μC/cm2。其它电学性能表明,PZT铁电电容器具有较高的电阻率和脉冲宽度对极化强度的影响较弱。

引用

页码：81 / 83+122 +122

页数：4