Calculation of the Coefficients of Mutual Diffusion of the Growth Components during Gas-Phase Epitaxy of Gallium Arsenide.

被引:0
作者
Gurchenok, G.A.
机构
来源
Neorganiceskie materialy | 1980年 / 16卷 / 12期
关键词
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D O I
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摘要
GASES - Kinetic Theory - SEMICONDUCTING FILMS - Growth
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页码:2099 / 2102
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