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Pulsed laser deposition, in-situ process modeling and feedback control for multi-layer deposition
被引：0
作者：
Laube, S.J.P.
Voevodin, A.A.
机构：
来源：
Surface and Coatings Technology
|
1998年
/
99卷
/
1-2期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
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