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Synthesis of Sn-doped a-C:H films by RF plasma-enhanced chemical vapor deposition and their characterization
被引：0
作者：
Nagoya Univ, Nagoya, Japan
[1
]
机构：
来源：
Thin Solid Films
|
/
1-2卷
/
41-45期
关键词：
Number:;
08455346;
Acronym:;
MEXT;
Sponsor: Ministry of Education;
Culture;
Sports;
Science and Technology;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
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