Thermal reactions of fluorocarbon and hydrofluorocarbon species on Si(100)-(2×1)-CF3I, CF3CH2I, and C2F4

被引:0
|
作者
Univ of Pittsburgh, Pittsburgh, United States [1 ]
机构
来源
J Vac Sci Technol A | / 2卷 / 178-182期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
学科分类号
摘要
46
引用
收藏
相关论文
共 50 条