Epitaxial praseodymium oxide: A new high-k dielectric

被引:0
作者
Osten, H.J. [1 ]
Bugiel, E. [1 ]
Dabrowski, J. [1 ]
Fissel, A. [1 ]
Guminskaya, T. [1 ]
Liu, J.P. [1 ]
Müssig, H.J. [1 ]
Zaumseil, P. [1 ]
机构
[1] IHP, Im Technologiepark 25, Frankfurt(Oder),D-15236, Germany
来源
Extended Abstracts of International Workshop on Gate Insulator, IWGI 2001 | 2001年
关键词
Compendex;
D O I
967555
中图分类号
学科分类号
摘要
Interfaces (materials) - Leakage currents - High-k dielectric
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