High-temperature passive oxidation of chemically vapor deposited silicon carbide

被引:0
作者
机构
[1] Narushima, Takayuki
[2] Goto, Takashi
[3] Hirai, Toshio
来源
Narushima, Takayuki | 1600年 / 72期
关键词
Silicon Carbide;
D O I
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