CVD-processes by hollow cathode glow discharge

被引：0

作者：

Fraunhofer Inst. Schicht- und O., Bienroder Weg 54 e, 38108 Braunschweig, Germany ^{[1
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机构：

来源：

Surf. Coat. Technol. | / 1-3卷 / 1541-1546期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用