Polycrystalline Al2O3 film prepared by IBAD

被引:0
作者
Wang, Chen
Yang, Jie
Fan, Yudian
Tao, Kun
机构
来源
Cailiao Kexue Jinzhan/Materials Science Progress | 1993年 / 7卷 / 06期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
学科分类号
摘要
引用
收藏
相关论文
empty
未找到相关数据