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Surface modification of polyimide by ECR plasma
被引:10
作者
:
Jeong, H.-S.
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Jeong, H.-S.
Lu, Z.
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Lu, Z.
White, R.C.
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White, R.C.
机构
:
来源
:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
|
1991年
/ 59-60卷
/ pt 2期
关键词
:
D O I
:
10.1016/0168-583X(91)95812-R
中图分类号
:
学科分类号
:
摘要
:
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