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SiC formation in the deposition of diamond on Si by the microwave plasma CVD technique
被引：0
作者：
Gonon, P.
Gheeraert, E.
Deneuville, A.
机构：
来源：
Vide, les Couches Minces
|
1992年
/
261期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
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