Adsorption and thermal or photodecomposition of triethylgallium and trimethylgallium on Si(111)-7 × 7

被引:0
作者
Fukui, Ken-ichi [1 ]
Mizutani, Wataru [1 ]
Onishi, Hiroshi [1 ]
Ichimura, Shingo [1 ]
Shimizu, Hazime [1 ]
Iwasawa, Yasuhiro [1 ]
机构
[1] Univ of Tokyo, Tokyo, Japan
来源
Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers & Short Notes & Review Papers | 1995年 / 34卷 / 9 A期
关键词
D O I
暂无
中图分类号
学科分类号
摘要
50
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