Diffusion Pumps, Turbomolecular Pumps or Cryopumps? - Selection Criteria of Pumps for Vacuum.

被引:0
作者
Duval, P.
机构
来源
Vide, les Couches Minces | 1981年 / 36卷 / 208期
关键词
Compendex;
D O I
暂无
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学科分类号
摘要
VACUUM PUMPS
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