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Research on diffusion and depositing tantalum compound technique by Xu-TEC process
被引：0
作者：
Gao, Yuan
Huang, Xu
Fan, Benhui
Xu, Zhong
机构：
来源：
Cailiao Kexue yu Gongyi/Material Science and Technology
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5卷
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03期
关键词：
D O I：
暂无
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