Structure of ZrO2 optical thin films prepared by dual ion beam reactive sputter deposition

被引:0
作者
Riviere, J.P. [1 ]
Harel, S. [1 ]
Guerin, P. [1 ]
Straboni, A. [1 ]
机构
[1] Universite de Poitiers, Poitiers, France
来源
Surface and Coatings Technology | 1996年 / 84卷 / 1 -3 pt 2期
关键词
D O I
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页码:470 / 475
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