Nanometer level etching and deposition of Bi-Sr-Ca-Cu-O superconducting thin films

被引：0

作者：

Sakai, Shigeki ^{[1
]}

Oohira, Tunehiro ^{[1
]}

Kasai, Yuji ^{[1
]}

Migita, Shinji ^{[1
]}

Suzuki, Atsuhiro ^{[1
]}

机构：

[1] NEDO

来源：

Denshi Gijutsu Sogo Kenkyusho Iho/Bulletin of the Electrotechnical Laboratory | 1997年 / 61卷 / 04期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用