DEPOSITION OF SILICON NITRIDE FROM SiCl4-NH3-Ar VAPOR-GAS MIXTURE UNDER NORMAL PRESSURE.

被引：0

作者：

Grekov, F.F. ^{[1
]}

Zykov, A.M. ^{[1
]}

Savvin, G.S. ^{[1
]}

机构：

[1] M. I. Kalinin Leningrad Polytechnic, Inst, USSR, M. I. Kalinin Leningrad Polytechnic Inst, USSR

来源：

| 1797年 / 60期

关键词：

D O I：

暂无

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学科分类号：

摘要：

引用