Influence of deposition parameters on the properties of SiC films

被引：0

作者：

Vlaskina, S.I. ^{[1
]}

Rodionov, V.E. ^{[1
]}

Svechnikov, S.V. ^{[1
]}

机构：

[1] Ukrainian Acad of Science, Kiev, Ukraine

来源：

Materials science & engineering. B, Solid-state materials for advanced technology | 1992年 / B11卷 / 1-4期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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