DAMAGE PROFILE IN GaAs, AlAs, AlGaAs, AND GaAs/AlGaAs SUPERLATTICES INDUCED BY Si + -ION IMPLANTATION.

被引：0

作者：

Matsui, Kazunori ^{[1
]}

Takatani, Shin-ichiro ^{[1
]}

Fukunaga, Toshiaki ^{[1
]}

Narusawa, Tadashi ^{[1
]}

Bamba, Yasuo ^{[1
]}

Nakashima, Hisao ^{[1
]}

机构：

[1] Optoelectronics Joint Research Lab, Kawasaki, Jpn, Optoelectronics Joint Research Lab, Kawasaki, Jpn

来源：

| 1600年 / 25期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用