Chemical vapor deposition (CVD) of parylene films using liquid source delivery

被引:0
作者
Xu, Chongying [1 ]
Baum, Thomas H. [1 ]
机构
[1] Advanced Delivery and Chemical Systems, Ltd., Advanced Technology Materials, Inc., 7 Commerce Drive, Danbury, CT 06810, United States
来源
Materials Research Society Symposium - Proceedings | 1999年 / 555卷
关键词
D O I
暂无
中图分类号
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:155 / 160
相关论文
empty
未找到相关数据