Chemical vapor deposition (CVD) of parylene films using liquid source delivery

被引：0

作者：

Xu, Chongying ^{[1
]}

Baum, Thomas H. ^{[1
]}

机构：

[1] Advanced Delivery and Chemical Systems, Ltd., Advanced Technology Materials, Inc., 7 Commerce Drive, Danbury, CT 06810, United States

来源：

Materials Research Society Symposium - Proceedings | 1999年 / 555卷

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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