Particle in cell Monte Carlo collisions modeling of inductively coupled plasmas

被引：0

作者：

Schweigert, V.A. ^{[1
]}

Kortshagen, U.R. ^{[1
]}

机构：

[1] Univ of Minnesota, Minneapolis, United States

来源：

IEEE International Conference on Plasma Science | 2000年

关键词：

D O I：

暂无

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